(1)氩气的电离电位较低，易于形成等离子区；
(2)氩气为惰性气体，不会与样品金属蒸气反应；
(3)氩气能够传输真空紫外光谱(并非真空下的光谱，而是波长在10-200nm之间的光谱)，如C、P、S等，不会影响紫外及真空紫外区域元素的测定；
(4)氩气为原子状态气体，谱线简单，不宜形成谱线干扰；
(5)氩气的背景辐射低；
自行检查氩气的质量比较困难，一般而言，首先是看氩气供应商的资质，其次，为保证氩气纯度，可配置氩气净化器。若要对氩气检验，须采购特定的氩气纯度测定仪。
当然还有一种简单方法，因直读光谱仪对氩气的纯度要求很高，可以用直读光谱仪试用下，若能够正常激发，打出来的点无异常，且数据稳定，一般来说就可正常使用。为避免出现雾状白点，建议配置氩气净化器。
